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絕緣柵雙極晶體管(IGBT)是一種功率半導(dǎo)體器件，俗稱電力電子裝置的“心臟”，作為國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，在高鐵、新能源汽車、軌道交通、智能電網(wǎng)、航空航天等領(lǐng)域應(yīng)用極廣。作為一種功率模塊，在運(yùn)行過程中會(huì)產(chǎn)生大量的熱，需要及時(shí)散掉。IGBT模塊具有兩個(gè)焊料層，普通的二維X光成像會(huì)將兩層混在一起，無法區(qū)分。此外，有些大功率的模塊帶有散熱柱，會(huì)嚴(yán)重影響氣孔檢測(cè)的準(zhǔn)確率。

目前常用的檢測(cè)手段是超聲檢測(cè)，但非常容易受散熱柱的干擾，導(dǎo)致檢測(cè)偏差。除此之外，超聲檢測(cè)要將模塊浸入到水中，需要隔離水的工裝，還需要人工操作，檢測(cè)過程復(fù)雜，難以實(shí)現(xiàn)在線檢測(cè)，效率比較低。此外，普通的二維X光成像會(huì)將IGBT模塊兩個(gè)焊料層混在一起，無法區(qū)分，并且有些大功率模塊帶有散熱柱，會(huì)嚴(yán)重影響氣孔檢測(cè)的準(zhǔn)確率。

日前，中國科學(xué)院高能物理研究所(中科院高能所)濟(jì)南研究部(濟(jì)南中科核技術(shù)研究院)自主研發(fā)、可為功率半導(dǎo)體做“CT”(計(jì)算機(jī)斷層掃描)的功率半導(dǎo)體封測(cè)新添“利器”——“全自動(dòng)絕緣柵雙極晶體管缺陷X射線三維檢測(cè)設(shè)備”，近日在湖南株洲舉行的功率半導(dǎo)體行業(yè)聯(lián)盟第八屆國際學(xué)術(shù)論壇上亮相推出，備受業(yè)界關(guān)注。

中科院高能所研發(fā)團(tuán)隊(duì)基于10余年在大尺寸板狀物三維層析成像領(lǐng)域的技術(shù)積累，在成功研發(fā)專用于板狀古生物化石的X射線三維層析成像儀器(1.0版)基礎(chǔ)上，面向國家重大需求的工業(yè)CT，針對(duì)集成電路先進(jìn)封裝的檢測(cè)需求，突破一系列關(guān)鍵技術(shù)，研發(fā)出分辨率更高、更成熟的2.0版“全自動(dòng)IGBT缺陷X射線三維檢測(cè)設(shè)備”。

該2.0版設(shè)備依托X射線計(jì)算機(jī)層析成像技術(shù)和先進(jìn)的缺陷智能檢測(cè)軟件算法，并將人工智能算法引入檢測(cè)系統(tǒng)，可對(duì)不合格產(chǎn)品進(jìn)行自動(dòng)識(shí)別及分揀，為IGBT模塊封測(cè)提供全自動(dòng)在線無損檢測(cè)解決方案，從而大大提高檢測(cè)效率，保障IGBT模塊的產(chǎn)品品質(zhì)。

(資料來源：中國新聞網(wǎng))

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